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製品情報

高温プレートヒータ
プレートヒータ

幅広く使える金属製のプレート型高温ヒータ

金属製の熱板にサーモコアックス社製のシースヒータを埋め込み、最高800℃まで昇温を可能にしたプレート型ヒータです。熱板内部に埋め込まれたヒータ線と電源を接続する電極部は、大気中で使用できるよう絶縁されたスリーブ端子のモデルや、真空チャンバー内向けのCP端子モデルなどご使用環境に合わせたバリエーションを用意しています。

製品の特長

01

優れた機械的耐久性

加熱がステンレス、インコネル、アルミ等のプレート上で行われるため、石英ガラスやカーボンを使用したヒータと比べて加熱時に圧力を加えるなどの耐久性を要するシーンに適しています。

02

柔軟な設計に対応

熱板内のヒータパターンは仕様に合わせて柔軟に設計できるため、熱板にザグリやタップ穴などをご希望に応じて追加することが可能です。

主な用途

  • 薄膜装置(CVD/スパッタリング)への組み込み
  • 半導体製造装置(基板加熱/フラッシュアニールなど)への組み込み
  • その他多目的に使用できます。
製品についてご不明な点などがございましたら、お気軽にお問い合わせください。

製品仕様

最高使用温度

真空中700℃/その他800℃

加熱有効エリア

Φ50~Φ220mm(それ以上の場合もご相談ください)

本体構造

熱板にシースヒータを埋め込み、電極部は熱板の側面や中央下部に引き出しています。

ご準備いただくもの

電力量に応じた電源、温度コントローラー等

構成

外形寸法

製品についてご不明な点などがございましたら、お気軽にお問い合わせください。
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