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ホーム 製品情報 高温プレートヒータ ランプ型面状加熱ヒータ
高温プレートヒータ
ランプ型面状加熱ヒータ
Ox

大気中で1,000℃まで昇温可能な小型ヒータ

C/Cコンポジット(炭素-炭素複合材)を用いた発熱体を、石英ガラス製のベルジャーで密閉したランプ型ヒータです。これにより大気中や酸化雰囲気下においても被加熱物の均一な加熱が可能となりました。また、熱源となるC/Cコンポジットは熱容量が小さく振動や衝撃及びサーマルショックに強いため、小型ながら最高1,000℃までの速やかな昇温が可能です。

製品の特長

01

C/Cコンポジット素材採用によるメリット

熱源に強固なC/Cコンポジットを素材に採用しているため、カーボンや金属を使用したヒータ製品と比較して急速な昇温・降温や長寿命化が期待できます。

02

石英ベルジャーによるメリット

石英ガラスは化学的に安定しているため、使用環境の影響を受けにくい設計となっています。またコンタミの発生も極めて少なく、クリーンな状態でご使用いただけます。

主な用途

  • 薄膜装置(CVD/スパッタリング)への組み込み
  • 半導体製造装置(基板加熱/フラッシュアニールなど)への組み込み
  • その他多目的に使用できます。
製品についてご不明な点などがございましたら、お気軽にお問い合わせください。

製品仕様

最高使用温度

1,000℃

使用雰囲気

大気/真空/ガス

冷却方法

水冷式

本体構造

金属製のフランジ上にC/Cコンポジット製ヒータを配置し、石英ベルジャーでヒータを覆っています。

ご準備いただくもの
  • 電力量に応じた電源、温度コントローラー等
  • 水量3ℓ/min以上(水圧0.4MPa程度)、水温が30℃以下の冷却水

構成

外形寸法

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