CCコンポジット 面状加熱ヒータ

155×125 CCヒータエレメント カタログ.jpg ヒータエレメントCCコンポジットは一般的な黒鉛に比べ約5倍以上の強度があるため、ヒータとして使用することで、薄くて壊れにくいヒータを設計できます。
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155×110 九州大学.jpg 面状加熱ヒータ(真空・不活性ガス対応)ヒータエレメントにCCコンポジットを採用した超高温プレートヒータです。
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面状加熱ヒータ(ガス分離型)

石英ベルジャーの内部を真空又は不活性ガスにすることで、石英ベルジャーの外側が酸素雰囲気であっても1000℃以上の昇温が可能です。

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155×119 簡易ガス分離型CCヒータ.jpg 面状加熱ヒータ(簡易ガス分離型) スパッタ装置等不活性ガス中に低濃度の酸素を導入して加熱する用途に適しています。
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