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製品情報

高温プレートヒータ
面状加熱CCヒータ

1200℃以上の昇温可能な面状ヒータ

熱源にC/Cコンポジット(炭素-炭素複合材)を使用した薄型でコンパクトなヒータです。C/Cコンポジットを使用することで、シースヒータを用いたプレートヒータでは実現できない高い温度まで昇温することが可能になりました。

製品の特長

01

サセプタによる均熱性

ヒータ上部に設置したサセプタ上で加熱するため、均等に加熱することができます。

02

高温加熱の実現

大気中では400℃以下、真空中や不活性ガス雰囲気下であれば1200℃以上の昇温を行うことができます。

03

C/Cコンポジット素材採用によるメリット

熱源に強固なC/Cコンポジットを素材に採用しているため、カーボンや金属を使用したヒータ製品と比較して急速な昇温・降温や長寿命化が期待できます。

主な用途

  • 薄膜装置(CVD/スパッタリング)への組み込み
  • 半導体製造装置(基板加熱/フラッシュアニールなど)への組み込み
  • その他カーボン材が使用可能な環境において多目的に使用できます。
製品についてご不明な点などがございましたら、お気軽にお問い合わせください。

製品仕様

最高使用温度

1200℃〜

寸法
本体構造

C/Cコンポジット製ヒータを断熱材で囲み、加熱面に絶縁性の板(セラミック、石英ガラス、グラファイト等)を設置しています。

ご準備いただくもの
  • 電力量に応じた電源、温度コントローラー等

構成

外形寸法

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